70年后期將氮?dú)鈬娎鋲毫?1~2)%26times;10Pa提高到(5~6)%26times;10Pa，使冷卻能力接近于常壓下冷。80年中期現(xiàn)超高壓氣淬，(10~20)%26times;10Pa氦，冷卻能力等于或略高于淬，已進(jìn)入工業(yè)實(shí)。90年初采40%26times;10Pa氫氣，接近水淬冷卻能力，尚處于起步階段。
  工業(yè)發(fā)達(dá)已進(jìn)展到以高壓(5~6)%26times;10。Pa氣淬為主體，而中國產(chǎn)氣淬一些金屬蒸氣壓(理論值)與溫度關(guān)系則尚處于一般加壓氣淬(2%26times;10Pa)階段。結(jié)果真空滲碳為真空滲碳一淬火工藝曲線。在真空中加熱到滲碳溫度并保溫使表面凈化、活化之后，通入稀薄滲碳富化氣(見控制氣氛熱處理)，在大約1330Pa(10T0rr)負(fù)壓下進(jìn)行滲入，然后停氣(降壓)進(jìn)行擴(kuò)散。
  滲碳后精密鋼管淬火采一次淬火法，即先停電，通氮冷卻工件至臨界點(diǎn)A，、以下，使內(nèi)部發(fā)生相變，再停氣、開泵，升溫到Ac1，~Accm之間。淬冷方法可采氣冷或冷。后者為奧氏體化后移入前室，充氮至常壓，入。真空滲碳溫度一般高于普通氣體滲碳，常采920~1040℃滲入和擴(kuò)散可按所示分兩階段，也可脈沖式通氣、停氣，多段式滲一擴(kuò)相間，效果更好。