耐磨復(fù)合板的熱處理工藝對組織結(jié)構(gòu)影響：隨著超大規(guī)模集成電路的特征線寬不斷減小,導(dǎo)致號傳輸延時(shí)、功耗增大以及互連阻容耦合增大等問題,為了解決這一問題,多孔低(超低)k介電材料越來越引起人們的注意。通過在前驅(qū)氣體D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉積技術(shù)制備出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工藝及后道工藝中,薄膜需要經(jīng)受400～450℃的熱沖擊,因此首先對不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的結(jié)構(gòu)、表面形貌和濕水性進(jìn)行了研究。在真空熱處理過程中,熱穩(wěn)定性較差的碳?xì)浠鶊F(tuán)發(fā)生了熱解吸,使Si-O-Si網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)以及鏈?zhǔn)浇Y(jié)構(gòu)發(fā)生交聯(lián)而形成鼠籠結(jié)構(gòu),從而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。但是,由于碳?xì)浠鶊F(tuán)的熱解吸以及結(jié)構(gòu)的重組降低了薄膜的厚度,并且熱解吸還導(dǎo)致薄膜的疏水性能降低。其次真空熱處理降低了薄膜的漏電流,并且使SiCOH/Si界面的界面態(tài)發(fā)生改變。

  NM400耐磨板在500一650℃進(jìn)行.得到回火索氏體組織，具有較高的強(qiáng)度和韌性相配合的綜合力學(xué)性能。生產(chǎn)中把淬火后再進(jìn)行高溫回火的處理稱為調(diào)質(zhì)處理。調(diào)質(zhì)處理主要用于各種重要的結(jié)構(gòu)零件，使耐磨板的強(qiáng)度、塑性、韌性達(dá)到恰當(dāng)?shù)呐浜?，具有良好的綜合力學(xué)性能。特別是在交變載荷下工作的連桿、螺栓、螺母、曲軸和齒輪等零件。調(diào)質(zhì)處理還可作為某些精密零件，如絲杠、量具、模具等的預(yù)備熱處理，以減少終處理過程中的變形。調(diào)質(zhì)鋼調(diào)質(zhì)處理后的硬度為25一35HRC。

  NM400耐磨板回火時(shí)的組織轉(zhuǎn)變與正火相比.在相同的硬度下，強(qiáng)度、塑性和韌性均顯著高于正火狀態(tài)。因此，重要構(gòu)件般均用調(diào)質(zhì)處理。調(diào)質(zhì)還常作為表面強(qiáng)化件的預(yù)備熱處理

慢重熔退火高硬度雙金屬耐磨襯板組織均勻地削減偏析和鋼帶，橫向襲擊顯著改進(jìn)的職能，高品質(zhì)的鋼，以預(yù)定的標(biāo)準(zhǔn)的程度。

  本文在以往高強(qiáng)度堆焊耐磨板的基材取金屬復(fù)合原料研討的基礎(chǔ)上，采取兩種新的工藝方法制備了硬質(zhì)合金增強(qiáng)鋼板基耐磨原料。方法一利用電磁感應(yīng)加熱的特點(diǎn)，鋼板鋼材舉辦型內(nèi)加熱，使其熔滲到鑄型底部布置的硬質(zhì)合金棒間隙中，獲得硬質(zhì)臺(tái)金與鋼的冶金復(fù)合(暫稱這種丁藝為感應(yīng)熔滲工藝)，并歷史調(diào)處硬質(zhì)臺(tái)金棒間距對復(fù)合原料的制各工藝舉辦探討。方法二利用堆焊技術(shù)的特點(diǎn)，將均勻排列、恰當(dāng)間距的硬質(zhì)臺(tái)會(huì)棒層層堆焊到低碳鋼中，獲得硬質(zhì)合金與鋼的冶金復(fù)合。應(yīng)用光學(xué)顯鏡、SEM、FE-SEM、EDX、XRD等手法鋼板的復(fù)臺(tái)原料的顯組織、界面結(jié)構(gòu)、物牛H組成舉辦了說明，并對界面結(jié)合機(jī)理舉辦了探討;對不同方法及細(xì)致工藝下制各的各復(fù)合原料舉辦了硬度測試說明; ，在常溫三體磨料磨損實(shí)驗(yàn)機(jī)中，對選取的一組復(fù)臺(tái)原料試樣舉辦磨損實(shí)驗(yàn)，并與正火45鋼作對比，磨損后，對各試樣的磨損刻畫及磨損機(jī)理舉辦說明。

  研討后果評釋，歷史兩種制各工藝均能成功制備出硬質(zhì)合金雙金屬復(fù)臺(tái)原料，獲得硬質(zhì)臺(tái)金與鋼基體間的冶金結(jié)合。感應(yīng)熔滲工藝中，隨著雙鋼板硬質(zhì)合金棒間距的減小，熔滲時(shí)間需要延長，并且所得復(fù)合原料中硬質(zhì)臺(tái)金棒表層熱影響區(qū)將增大。堆焊復(fù)合工藝中，所得高強(qiáng)度堆焊耐磨板復(fù)合原料的硬質(zhì)臺(tái)金與鋼基體間存在一個(gè)明顯的熔焊層。