溫等離子體技術(shù)在氣態(tài)污染物治理方面優(yōu)勢(shì)顯著。其基本原理是在電場(chǎng)的加速作用下，產(chǎn)生高能電子，當(dāng)電子平均能量超過(guò)目標(biāo)治理物分子化學(xué)鍵能時(shí)，分子鍵斷裂，達(dá)到氣態(tài)污染物的目的。

噴漆廢氣中的三苯濃度一般低于300mg/m3低濃度、大風(fēng)量的有機(jī)廢氣治理，采用催化燃燒法(適用于濃度大于500mg/m3)處理不合適,所以只能用低溫等離子廢氣處理設(shè)備來(lái)處理這種類型的工業(yè)廢氣。(適應(yīng)于家具廠、鞋廠、五金廠、電子廠、工藝品廠、印染廠、塑料制品廠等等)同樣，等離子技術(shù)處理涂裝系統(tǒng)廢氣，油墨廢氣，高壓靜電式的印刷印染廢氣都有

低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體產(chǎn)品利用螺旋波低溫冷光技術(shù)產(chǎn)生的高能離子束和電子束形成的低溫等離子體，以每秒800萬(wàn)次-5000萬(wàn)次的速度反復(fù)轟擊異味氣體分子，去、電離、裂解廢氣中的各種成分，從而發(fā)生氧化等一系列的化學(xué)反應(yīng)。等離子處理廢氣的原理如下：

1. 等離子通電后會(huì)形成一個(gè)1.5萬(wàn)伏的高壓電場(chǎng)，廢氣在進(jìn)入的時(shí)候被電離，分子鍵斷裂，廢氣分子被分解成高能電子。

2. 氧氣O2被電離成O- （游離態(tài)的氧原子），因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡，所以需要與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧O3。

3. 廢氣電子在O3 的作用下，被氧化成CO2 和H2O