耐磨復(fù)合板的熱處理工藝對(duì)組織結(jié)構(gòu)影響：隨著超大規(guī)模集成電路的特征線寬不斷減小,導(dǎo)致號(hào)傳輸延時(shí)、功耗增大以及互連阻容耦合增大等問(wèn)題,為了解決這一問(wèn)題,多孔低(超低)k介電材料越來(lái)越引起人們的注意。通過(guò)在前驅(qū)氣體D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉積技術(shù)制備出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工藝及后道工藝中,薄膜需要經(jīng)受400～450℃的熱沖擊,因此首先對(duì)不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的結(jié)構(gòu)、表面形貌和濕水性進(jìn)行了研究。在真空熱處理過(guò)程中,熱穩(wěn)定性較差的碳?xì)浠鶊F(tuán)發(fā)生了熱解吸,使Si-O-Si網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)以及鏈?zhǔn)浇Y(jié)構(gòu)發(fā)生交聯(lián)而形成鼠籠結(jié)構(gòu),從而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。但是,由于碳?xì)浠鶊F(tuán)的熱解吸以及結(jié)構(gòu)的重組降低了薄膜的厚度,并且熱解吸還導(dǎo)致薄膜的疏水性能降低。其次真空熱處理降低了薄膜的漏電流,并且使SiCOH/Si界面的界面態(tài)發(fā)生改變。

  NM400耐磨板在500一650℃進(jìn)行.得到回火索氏體組織，具有較高的強(qiáng)度和韌性相配合的綜合力學(xué)性能。生產(chǎn)中把淬火后再進(jìn)行高溫回火的處理稱為調(diào)質(zhì)處理。調(diào)質(zhì)處理主要用于各種重要的結(jié)構(gòu)零件，使耐磨板的強(qiáng)度、塑性、韌性達(dá)到恰當(dāng)?shù)呐浜希哂辛己玫木C合力學(xué)性能。特別是在交變載荷下工作的連桿、螺栓、螺母、曲軸和齒輪等零件。調(diào)質(zhì)處理還可作為某些精密零件，如絲杠、量具、模具等的預(yù)備熱處理，以減少終處理過(guò)程中的變形。調(diào)質(zhì)鋼調(diào)質(zhì)處理后的硬度為25一35HRC。

  NM400耐磨板回火時(shí)的組織轉(zhuǎn)變與正火相比.在相同的硬度下，強(qiáng)度、塑性和韌性均顯著高于正火狀態(tài)。因此，重要構(gòu)件般均用調(diào)質(zhì)處理。調(diào)質(zhì)還常作為表面強(qiáng)化件的預(yù)備熱處理

nm450耐磨鋼板的回火指將淬火鋼加熱到Ac1以下某一溫度，保溫一定時(shí)間然后冷卻到室溫，使不穩(wěn)定組織轉(zhuǎn)變?yōu)檩^穩(wěn)定組織的熱處理工藝。鋼淬火后組織為淬火馬氏體，硬度高、脆性大、尺寸不穩(wěn)定，有很大的內(nèi)應(yīng)力，易于開(kāi)裂，故無(wú)法正常使用，因此必須經(jīng)過(guò)回火處理，以獲得要求的硬度、組織和性能等。nm450耐磨鋼板的回火是淬火后的一道重要工序，不進(jìn)行回火的零件基本上是不能使用的。對(duì)于高合金鋼、高速工具鋼而言，如不進(jìn)行及時(shí)回火將造成開(kāi)裂現(xiàn)象，其原因在于內(nèi)外冷卻和組織轉(zhuǎn)變的不同時(shí)性造成的。①減少或零件的淬火內(nèi)應(yīng)力; ②適當(dāng)降低硬度，提高鋼的塑性和韌性，獲得良好的綜合力學(xué)性能;③穩(wěn)定組織，使零件尺寸在長(zhǎng)期使用過(guò)程中不發(fā)生組織變化和保持精度;④改善加工性能，避免磨削加工時(shí)開(kāi)裂現(xiàn)象的發(fā)生。nm450耐磨鋼的回火是指將淬火鋼加熱到Ac1以下某一溫度，保溫一定時(shí)間然后冷卻到室溫，將不穩(wěn)定的淬火組織轉(zhuǎn)變?yōu)檩^穩(wěn)定組織的熱處理工藝。鋼淬火后的組織通常為淬火馬氏體和少量殘余奧氏體，馬氏體是過(guò)飽和固溶體，殘余奧氏體是過(guò)冷固溶體，兩者均屬于亞穩(wěn)定的組織，都具有向鐵素體和滲碳體混合物轉(zhuǎn)變的自發(fā)趨向?；痄摼哂袕?qiáng)度和硬度高、脆性大而塑性低、組織不穩(wěn)定容易發(fā)生轉(zhuǎn)變而引起尺寸的變化、有很大的內(nèi)應(yīng)力而易于開(kāi)裂等特點(diǎn)，因此不經(jīng)回火的淬火鋼是無(wú)法正常使用的，必須經(jīng)過(guò)回火處理以獲得要求的硬度、理想的組織和力學(xué)性能等，來(lái)滿足零件的工作需要。