耐磨復(fù)合板的熱處理工藝對組織結(jié)構(gòu)影響：隨著超大規(guī)模集成電路的特征線寬不斷減小,導(dǎo)致號傳輸延時(shí)、功耗增大以及互連阻容耦合增大等問題,為了解決這一問題,多孔低(超低)k介電材料越來越引起人們的注意。通過在前驅(qū)氣體D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉積技術(shù)制備出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工藝及后道工藝中,薄膜需要經(jīng)受400～450℃的熱沖擊,因此首先對不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的結(jié)構(gòu)、表面形貌和濕水性進(jìn)行了研究。在真空熱處理過程中,熱穩(wěn)定性較差的碳?xì)浠鶊F(tuán)發(fā)生了熱解吸,使Si-O-Si網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)以及鏈?zhǔn)浇Y(jié)構(gòu)發(fā)生交聯(lián)而形成鼠籠結(jié)構(gòu),從而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。但是,由于碳?xì)浠鶊F(tuán)的熱解吸以及結(jié)構(gòu)的重組降低了薄膜的厚度,并且熱解吸還導(dǎo)致薄膜的疏水性能降低。其次真空熱處理降低了薄膜的漏電流,并且使SiCOH/Si界面的界面態(tài)發(fā)生改變。

  NM400耐磨板在500一650℃進(jìn)行.得到回火索氏體組織，具有較高的強(qiáng)度和韌性相配合的綜合力學(xué)性能。生產(chǎn)中把淬火后再進(jìn)行高溫回火的處理稱為調(diào)質(zhì)處理。調(diào)質(zhì)處理主要用于各種重要的結(jié)構(gòu)零件，使耐磨板的強(qiáng)度、塑性、韌性達(dá)到恰當(dāng)?shù)呐浜?，具有良好的綜合力學(xué)性能。特別是在交變載荷下工作的連桿、螺栓、螺母、曲軸和齒輪等零件。調(diào)質(zhì)處理還可作為某些精密零件，如絲杠、量具、模具等的預(yù)備熱處理，以減少終處理過程中的變形。調(diào)質(zhì)鋼調(diào)質(zhì)處理后的硬度為25一35HRC。

  NM400耐磨板回火時(shí)的組織轉(zhuǎn)變與正火相比.在相同的硬度下，強(qiáng)度、塑性和韌性均顯著高于正火狀態(tài)。因此，重要構(gòu)件般均用調(diào)質(zhì)處理。調(diào)質(zhì)還常作為表面強(qiáng)化件的預(yù)備熱處理

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