光氧催化利用高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業(yè)廢氣的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機(jī)或無機(jī)高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉(zhuǎn)變成低分子化合物。

光氧催化利用氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。臭氧對有機(jī)物具有較強(qiáng)的氧化作用。工業(yè)廢氣輸入到凈化設(shè)備后，凈化設(shè)備運(yùn)用高能UV紫外線光束和臭氧對工業(yè)廢氣進(jìn)行協(xié)同分解氧化反應(yīng)，使工業(yè)廢氣降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風(fēng)管道排出室外。

光氧催化利用細(xì)菌的分子鍵，破壞細(xì)菌的核酸，再通過臭氧進(jìn)行氧化反應(yīng)，達(dá)到凈化殺滅細(xì)菌的目的。采用脈沖電暈吸附技術(shù)相結(jié)合的原理對有害氣體進(jìn)行，使有機(jī)物轉(zhuǎn)變?yōu)闊o機(jī)物。