溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。(注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。)

  等離子體反應區(qū)富含極高的物質，如高能電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發(fā)生反應，使污染物質在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統(tǒng)的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，等離子體技術放電密度是電暈放電的1500倍，這就是傳統(tǒng)低溫等離子體技術治理工業(yè)廢氣以失敗而告終的原因。

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現在國內根據低溫等離子體工業(yè)廢氣處理技術研發(fā)出相應的標準化廢氣治理設備，歸于根本是利用一些化學反應的化學鍵拆分，得到無害的氣體分子，從而達到環(huán)保排放煙氣的標準要求。具體是利用所產生的高能電子、自由基等活性粒子、電離、裂解工業(yè)廢氣中的各組成份，使之發(fā)生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化、化，保護人類生存環(huán)境。

低溫等離子體技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態(tài)污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染；http://www.wzyihong.com燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時混合污染物(有些情況還具有協(xié)同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統(tǒng)構成就單一緊湊，在運行費用方面，觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。